1)高剛度高穩(wěn)定性床身

  床身采用整體花崗巖結(jié)構(gòu)，由于花崗巖具有高阻尼、小振動(dòng)、熱穩(wěn)定性佳等特性，可以保證磨床高剛度和高穩(wěn)定性。

  2)工作臺(tái)

  工作臺(tái)面采用整體花崗巖結(jié)構(gòu)，在傳統(tǒng)閉式靜壓導(dǎo)軌的基礎(chǔ)上開發(fā)了高剛性、高精度的大平面閉式靜壓導(dǎo)軌，以實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)的大行程、平穩(wěn)、可靠的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。工作臺(tái)采用SIEMENS直線電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，同時(shí)為了防止直線電機(jī)的運(yùn)動(dòng)影響臺(tái)面，專門為直線電機(jī)設(shè)計(jì)了靜壓導(dǎo)軌。臺(tái)面的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)由HEIDENHAIN光柵系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制，從而保證了工作臺(tái)具有高精度、快速響應(yīng)的運(yùn)動(dòng)特性。

  3)立柱、滑座與橫梁

  可控制由于熱引起的機(jī)床變形，立柱和橫梁采用花崗巖制成。砂輪橫向位移滑座置于固定的橫梁上、安裝砂輪架的垂直運(yùn)動(dòng)拖板置于橫向位移滑座上。橫向位移和垂直運(yùn)動(dòng)均采用SIEMENS伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)高精度滾珠絲杠來完成，HEIDENHAIN光柵位置反饋。橫向位移滑座以及垂直運(yùn)動(dòng)拖板的導(dǎo)軌同樣采用的是液體靜壓導(dǎo)軌。另外在垂直運(yùn)動(dòng)拖板上配備了微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)砂輪架0.1 μm的微進(jìn)給。為了減少砂輪架滑座自重及其橫向位移引起的橫梁變形，在橫梁的正上方設(shè)置了卸荷裝置(卸荷橫梁)。用以承擔(dān)砂輪架滑座的大部分自重，并且通過HEIDENHAIN光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)卸荷裝置與砂輪橫向位移滑座的運(yùn)動(dòng)同步，從而大限度的減少橫梁變形對(duì)磨削加工的影響。

  4)砂輪架

  開發(fā)了轉(zhuǎn)速范圍廣、高剛性、高精度砂輪靜壓主軸系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)砂輪的高剛性、高精度回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。砂輪軸采用液體靜壓軸承支承，SIEMENS內(nèi)置式主軸電機(jī)，采用冷卻液強(qiáng)制冷卻主軸電機(jī)，砂輪主軸配備了砂輪平衡裝置，配套的管理控制程序能在循環(huán)中連續(xù)監(jiān)測(cè)砂輪的情況并立即對(duì)可能出現(xiàn)的不平衡量進(jìn)行補(bǔ)償。

  5)測(cè)量系統(tǒng)

  機(jī)床配備了激光干涉儀作為加工精度的在位測(cè)量系統(tǒng)，通過機(jī)床臺(tái)面運(yùn)動(dòng)和測(cè)量拖板橫向運(yùn)動(dòng)，使激光干涉儀的鏡頭可以掃描所有加工面積。當(dāng)機(jī)床進(jìn)行磨削加工時(shí)，測(cè)量橫梁可以運(yùn)動(dòng)到加工范圍以外。

  超精密大尺寸光學(xué)玻璃平面磨床是針對(duì)國家重要光學(xué)工程行業(yè)面臨重大需求而研究開發(fā)的，是具有水平的超精密加工關(guān)鍵裝備。該項(xiàng)目的開發(fā)成功，能夠?qū)崿F(xiàn)450×1200mm光學(xué)玻璃的高精度、高效率磨削，工件平面度可達(dá)3μm，縮短了后續(xù)研磨拋光的時(shí)間，可滿足激光武器、航空航天等領(lǐng)域?qū)Τ艽蟪叽缙矫娌ＡУ拇笈啃枨?，?duì)我國天文科學(xué)、國家重點(diǎn)工程和裝備的發(fā)展具有重要意義，并將進(jìn)一步推動(dòng)我國光學(xué)和激光領(lǐng)域制造裝備的技術(shù)突破，提升我國相關(guān)領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力和創(chuàng)新能力。